Sản phẩm
1xbet live football: chất bán dẫn (dành cho thiết bị CMP)
Khớp quay
EMF loạt (3 cổng)
![]()
Ứng dụng
-
Không khí cấp cho điều áp trong túi khí
-
Nguồn cấp khí để giảm áp suất trong túi khí
-
Chủ yếu dành cho thiết bị CMP
Tính năng
-
Loại nhiều cổng phù hợp để cung cấp đồng thời nhiều chất lỏng (3 cổng)
-
Có thể quay mà không cần chất lỏng
-
Cấu trúc phốt cơ khí
Thông số kỹ thuật
| Tối đa tốc độ | 150 phút-1/ vòng/phút |
| Áp suất | -0,1~0,1 MPa / -14,5~14,5 psi / -1~1 bar |
| Chất lỏng | Chân không/Không khí |
| Tài liệu |
SUS và hơn thế nữa |
Thông số kỹ thuật trên chỉ mang tính chất tham khảo
Thông số kỹ thuật thực tế có thể khác nhau tùy theo kiểu máy
MF loạt (3 cổng)
![]()
Ứng dụng
-
Nguồn cấp khí điều áp trong túi khí
-
Nguồn cấp khí để giảm áp suất trong túi khí
-
Chủ yếu dành cho thiết bị CMP
Tính năng
-
Loại nhiều cổng phù hợp để cung cấp đồng thời nhiều chất lỏng (3 cổng)
-
Có thể quay mà không cần chất lỏng
-
Cấu trúc seal đóng gói
Thông số kỹ thuật
| Tối đa tốc độ | 50 phút-1/ vòng/phút |
| Áp suất | -0,1~0,3 MPa / -14,5~43,5 psi / -1~3 bar |
| Chất lỏng | Chân không/Không khí |
| Tài liệu |
SUS và hơn thế nữa |
Thông số kỹ thuật trên chỉ mang tính chất tham khảo
Thông số kỹ thuật thực tế có thể khác nhau tùy theo kiểu máy
MFES loạt (nhiều cổng)
![]()
Ứng dụng
-
Cung cấp không khí cho điều áp wafer
-
Mâm cặp chân không để giữ wafer
-
Nguồn cấp khí cho ngắt chân không
-
Cấp nước làm mát cho bàn quay
-
Cung cấp nước tinh khiết/hóa chất/bùn
Tính năng
-
Loại nhiều cổng phù hợp để cung cấp đồng thời nhiều chất lỏng
-
Giảm khả năng rửa giải của các ion kim loại vào chất lỏng có các bộ phận làm ướt bên trong phi kim loại
-
Các bộ phận bị ướt bên trong được làm bằng vật liệu kháng hóa chất
-
Sử dụng phốt cơ khí chống mài mòn
-
Có khả năng hỗ trợ tới 8 cổng
Thông số kỹ thuật
| Tối đa tốc độ | 300 phút-1/ vòng/phút |
| Áp suất | -0,1~1 MPa / -14,5~145 psi / -1~10 bar |
| Chất lỏng | Không khí / Chân không / Nước tinh khiết / Hóa chất / Bùn và hơn thế nữa |
| Tài liệu |
PTFE/SUS |
Thông số kỹ thuật trên chỉ mang tính chất tham khảo
Thông số kỹ thuật thực tế có thể khác nhau tùy theo kiểu máy
Tải xuống danh mục
-
MỐI NỐI QUAY cho chất bán dẫn
Danh mục
Khớp quay
