Sản phẩm
1xbet vietnam: cổng đơn bán dẫn (cho nước tinh khiết/hóa chất/bùn)
Khớp quay
Ứng dụng
- Cung cấp không khí cho điều áp wafer
- Mâm cặp chân không để giữ wafer
- Nguồn cấp khí cho ngắt chân không
-
Cấp nước làm mát cho bàn quay
-
Cung cấp nước tinh khiết/hóa chất/bùn
* Tùy thuộc vào thông số kỹ thuật, có thể cần phải phun nước
Tính năng
-
Giảm khả năng rửa giải của các ion kim loại vào chất lỏng với các bộ phận làm ướt bên trong phi kim loại
-
Các bộ phận bị ướt bên trong được làm bằng vật liệu kháng hóa chất
-
Thích ứng với không khí, chân không, nước tinh khiết và bùn nhờ phốt cơ khí chống mài mòn
Thông số kỹ thuật
| Tối đa tốc độ | 600 phút-1/ vòng/phút |
| Áp suất | -0,1~1 MPa / -14,5~145 psi / -1~10 bar |
| Chất lỏng | Không khí / Chân không / Nước tinh khiết / Hóa chất / Bùn và hơn thế nữa |
| Chất liệu |
Thân máy: PTFE / SUS Con dấu: SiC Phần bị ướt: PTFE và hơn thế nữa |
Thông số kỹ thuật trên chỉ mang tính chất tham khảo
Thông số kỹ thuật thực tế có thể khác nhau tùy theo kiểu máy
Tải xuống danh mục
-
MỐI NỐI QUAY cho chất bán dẫn
Danh mục
Khớp quay
